DIC-Modul: Differential Interference Contrast. Mit der Neugestaltung des DIC-Moduls wurde die Visualisierung von Höhenunterschieden, die mit Hellfeldtechniken normalerweise nicht dargestellt werden können, deutlich verbessert. Alle für Auflicht konzipierten Objektive mit Unendlich-Korrektur sind für den Mikrobereich ausreichend. Bei der Verwendung von DIC mit reflektiertem Licht kann die Oberflächengeometrie oft als echte dreidimensionale Darstellung interpretiert werden. Es liefert eine klare Unterscheidung zwischen erhabenen und abgesenkten Bereichen in der Probe. Diese Reliefbilder sind ideal für die Oberflächeninspektion von Wafern, LCD-Bildschirmen, etc.